扫描电镜-能谱分析（SEM-EDS）：观察样品的微观形貌，并进行微区元素半定量分析，根据元素面分布确定元素分布位置。
高分辨场发射扫描电子显微镜可用于固体样品的微观形貌、结构，样品的微区元素成份及线分布、面分布，广泛应用于纳米技术、材料、物理、生物、化学、热能、地球科学、环境、光电子等领域。粉末、微粒样品形态的测定金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物、细胞等材料的显微形貌分析，复合材料界面特性的研究，材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析 材料及电子器件失效分析。